特許
J-GLOBAL ID：200903015913111063
磁気記録媒体および磁気記録装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
土井 健二
, 林 恒徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-170275
公開番号（公開出願番号）：特開2005-353126
出願日： 2004年06月08日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：
【課題】 フィルタードカソーディックアーク法により形成される保護膜の内部応力が大きく磁性膜から剥離しやすく耐久性の悪い欠点を改善し、5nm以下の極薄膜においても、高耐久性かつ高耐蝕性のハードディスク用磁気記録媒体およびこの磁気記録媒体を備えた磁気記録装置を提供する。【解決手段】 磁気記録媒体の保護層を、磁性層に接する下層とその上にある上層との二層で構成し、下層の内部応力が上層よりも小さく、下層の表面自由エネルギーが上層よりも小さいようにする。下層と上層の少なくともいずれか一方がフィルタードカソディックアーク法によって形成され、下層がアモルファスカーボンおよび、水素とフッ素の少なくともいずれか一方を主成分として含有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上に磁性層、保護層および潤滑層を順次積層した磁気記録媒体において、
当該保護層が磁性層に接する下層とその上にある上層との二層で構成されており、
当該下層の内部応力が当該上層よりも小さく、
当該下層の表面自由エネルギーが当該上層よりも小さい
磁気記録媒体。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
5D006AA02
, 5D006AA03
, 5D006AA05
, 5D006AA06
, 5D006DA03
, 5D006EA03
, 5D006FA01
, 5D006FA02
