特許

J-GLOBAL ID：200903015914642437

抵抗膜の比抵抗値測定方法

発明者： 金川 誠
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 芝野 正雅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-169958
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004678
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】 対向する2辺に棒状電極を有する矩形の抵抗膜である測定対象試料の任意個所の比抵抗値を直接的にかつ試料を破壊することなく手軽に測定する。【解決手段】 対向する2辺に棒状電極を有する矩形の抵抗膜試料の比抵抗値測定に4探針法を用いる。その際、対象となる試料の棒状電極の電気抵抗をゼロと見做すとともに、棒状電極を面積がゼロの直線状の導電素子であると見做すことにより境界条件を設定し、ポアソン方程式を元に補正係数を求める。

請求項（抜粋）：

対向する2辺に棒状電極を有する矩形な電気的抵抗体抵抗膜の比抵抗値を4探針法を用いて測定する、抵抗膜の比抵抗値測定方法であって、前記棒状電極の電気抵抗値をゼロと見做すとともに、前記棒状電極を面積がゼロの直線状の導電素子と見做すという条件のもとで求めた補正係数を用いて比抵抗値を測定することを特徴とする抵抗膜の比抵抗値測定方法。

IPC (2件)：

G01R 27/02 ,  G06F 3/03 320

FI (2件)：

G01R 27/02 R ,  G06F 3/03 320 C

Fターム (13件)：

2G028AA01 ,  2G028BB01 ,  2G028BC02 ,  2G028CG02 ,  2G028DH03 ,  2G028DH13 ,  2G028FK01 ,  2G028HN11 ,  2G028HN13 ,  5B068BB05 ,  5B068BC13 ,  5B068CC12 ,  5B068DD15

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭64-047960
  
• 特開昭57-040949
  
• 特公昭40-009923