特許
J-GLOBAL ID：200903015915058186
静電容量型圧力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-295450
公開番号（公開出願番号）：特開平9-138174
出願日： 1995年11月14日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：
【要約】【課題】 寄生容量や外界の電界の影響を防止して、正確な圧力検出を行うことのできる静電容量型圧力センサを提供すること。【解決手段】 ダイアフラム部2、キャビティー部5を有するシリコン基板1と、固定電極4、圧力等を導入する穴13を有するガラス基板3とから構成されるセンサチップ6には、固定電極4の引出しのために、シリコン基板1とガラス基板3との間に横穴11が形成されている。センサチップ6はシールド材を兼ねている導電性樹脂14により台座7に固定され、この導電性樹脂14は回路基板上でGNDに接続されるリード端子15の先端に接触している。センサチップ6の下に設置されている導電性樹脂14は、シールド材として働き、センサチップ6のシリコン基板1と固定電極4の間に入る寄生容量を削減し、また外部電界ノイズの影響を取り除く。
請求項（抜粋）：
電極部が形成された第1の基板と、圧力に応じて変形するダイアフラム部が形成された第2の基板とを有し前記ダイアフラム部と前記電極部とがギャップをおいて互いに対向する関係となるように前記第1及び前記第2の基板とが接合されたセンサチップを備え、前記ダイアフラム部に加わる圧力に応じて前記ギャップの幅が変化し、前記ダイアフラム部と前記電極部との間の静電容量が変化することによって圧力を検出するようにした静電容量型圧力センサにおいて、前記センサチップが、封止筐体内に枠組みされた所定の場所に導電性樹脂で接着され、前記導電性樹脂がリード端子を兼ねた金属材の一片と接着されていることを特徴とする静電容量型圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
前のページに戻る
