電子源基板、画像表示装置及び電子源基板の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：世良和信 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-127886
公開番号（公開出願番号）：特開2001-312957
出願日： 2000年04月27日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】表面伝導型電子放出素子を用いた電子源基板を歩留まり良く製造することが可能な電子源基板、画像表示装置及び電子源基板の製造方法を提供する。【解決手段】基板上の第1導体層3と、第1導体層3と交差する第2導体層5と、第1導体層3と第2導体層5との交差部に配置され、第1導体層3と第2導体層5とを絶縁する層間絶縁層4と、両配線層が交差する各位置に配設され両配線各々に接続された薄膜電極1,7を有する電子放出素子とを備える電子源基板において、第1導体層3と基板との間にITO(Indium Tin Oxyide)からなる下部導体層2が配置されてなる。

請求項（抜粋）：

基板上の複数の第1の配線と、該複数の第1の配線上に配置され、該複数の第1の配線と交差する複数の第2の配線と、前記第1の配線と第2の配線との交差部に配置され、該第1の配線と第2の配線とを絶縁する絶縁層と、該第1の配線と第2の配線とが交差する各位置近傍に配設され、該第1の配線に接続された第1の電極と、該第2の配線に接続された第2の電極とを有する電子放出素子とを備える電子源基板において、前記第1の配線と前記基板との間にITO(Indium Tin Oxyide)からなる導体層が配置されてなることを特徴とする電子源基板。

IPC (4件)：

H01J 1/316 , H01J 9/02 , H01J 29/04 , H01J 31/12

FI (4件)：

H01J 9/02 E , H01J 29/04 , H01J 31/12 C , H01J 1/30 E

Fターム (5件)：

5C031DD17 , 5C036EE14 , 5C036EG12 , 5C036EG33 , 5C036EH01

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