特許
J-GLOBAL ID：200903015935313883
現像処理方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-152526
公開番号（公開出願番号）：特開平7-135137
出願日： 1993年06月24日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【目的】 ウェハのスピン乾燥時において、該ウェハの中心部の乾燥を促進させて、不良品の低減と乾燥時間を短縮させる現像処理方法と装置を提供する。【構成】 ウェハ1にドライエアーなどの乾燥した気体を吹き付けるエアー吐出ノズル(乾燥気体吐出ノズル)2と、現像液を吹き付ける現像液ノズル3と、洗浄液を吹き付けるリンス液ノズル4と、供給する乾燥気体の流量を調整する流量調整バルブ5と、飛散する前記現像液やリンス液を排出する現像カップ6と、ウェハ1を搭載するウェハ支持台7と、前記ウェハ支持台7を回転させる支持台回転駆動部8と、前記3種類のノズル2,3,4とウェハ1の中心との位置合わせを行うノズル駆動部9とから構成され、該ノズル駆動部9の制御によって、エアー吐出ノズル2から吐出する乾燥した気体が、ウェハ1の中心部に吐出されるものである。
請求項（抜粋）：
ウェハを回転させることにより、レジストの現像、洗浄、乾燥を行う現像処理方法であって、現像および洗浄後のスピン乾燥時に、前記ウェハの中心部に乾燥した気体を吹き付けることを特徴とする現像処理方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, H01L 21/304 341
, H01L 21/304 351
