特許
J-GLOBAL ID：200903015939704143
光ヘテロダイン計測装置及びそれを用いた光ヘテロダイン計測方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-340167
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159125
出願日： 1993年12月07日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 外乱の悪影響を除去し、マスクとウエハとの位置合わせを高精度に行うことのできる光ヘテロダイン計測装置及びそれを用いた光ヘテロダイン計測方法を得ること。【構成】 第1の露光で形成された第1の回折格子と、第2の露光で形成された第2の回折格子を一組とした回折格子対の相対的なずれ量を検出する際、2つの回折格子に周波数の異なる2周波数の可干渉光を照射する照明系、2つの回折格子からの回折光を干渉させ第1の回折格子から発生する第1のビート信号を検出する第1の検出系、第2の回折格子から発生される第2のビート信号を検出する第2の検出系、ずれ量が0のときの回折格子を用いて第1,第2の回折格子の照明系に対する相対的回転量を光ヘテロダインビート信号により計測する回転量計測光学系を備え、第1及び第2のビート信号の位相差を、回転量計測光学系の出力によって補正を加えること。
請求項（抜粋）：
第1の露光で形成された第1の回折格子と、第2の露光で形成され、第1の回折格子に隣接して形成された第2の回折格子を一組とした回折格子対の相対的なずれ量を計測系により検出する光ヘテロダイン計測装置において、前記2つの回折格子に対し僅かに周波数の異なる2周波数の可干渉光を照射する照明系、前記2つの回折格子から回折される光を干渉させ前記第1の回折格子から発生する第1のビート信号を検出する第1の検出系、前記第2の回折格子から発生される第2のビート信号を検出する第2の検出系、そしてずれ量が0のときの回折格子を用いて前記第1,第2の回折格子の前記照明系に対する相対的回転量を光ヘテロダインビート信号により計測する回転量計測光学系を備え、前記第1及び第2のビート信号の位相差を、該回転量計測光学系の出力によって補正を加えることを特徴とする光ヘテロダイン計測装置。
IPC (6件)：
G01B 11/00
, G01B 9/02
, G01B 11/26
, G03F 9/00
, H01L 21/027
, H01L 21/68
H01L 21/30 506 E
, H01L 21/30 525 E
