特許
J-GLOBAL ID:200903015939808496

金属及びセラミック基体のコーティング方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 志賀 富士弥 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-337804
公開番号(公開出願番号):特開平9-217168
出願日: 1996年12月18日
公開日(公表日): 1997年08月19日
要約:
【要約】【課題】 金属基体及びセラミック基体のコーティング方法を提供する。【解決手段】 本発明は、カソードアーク放電蒸着プロセスとインバランスマグネトロンコーティングプロセス(ABS法)を組み合わせて又は単にカソードアーク放電蒸着プロセスによってチタンアルミニウム窒化物強化材料層の表面粗度を低減する方法に関する。
請求項(抜粋):
切削工具、総形バイト、タービンブレード等の金属基体のインバランスマグネトロン蒸着プロセス又はカソードアーク放電蒸着プロセスを用いたPVDコーティング法によるTiAlNコーティング方法であって、コーティング前にCrイオン及び/又はMoイオンにより前記金属基体表面にエッチング処理を施すことを特徴とする方法。
IPC (4件):
C23C 14/02 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/24 ,  C23C 14/35
FI (4件):
C23C 14/02 Z ,  C23C 14/06 A ,  C23C 14/24 F ,  C23C 14/35 Z

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