特許
J-GLOBAL ID：200903015968665629
マスフローコントローラ制御ユニツト
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-297437
公開番号（公開出願番号）：特開平5-134711
出願日： 1991年11月13日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：
【要約】【構成】 マスフローコントローラ制御ユニット11は、MPU基板15とA/D変換基板16とD/A変換基板17,18とシリアルI/O28とを備え、マスフローコントローラ12はA/D・D/A変換基板16〜18に接続され、装置制御システム14はシリアルI/O28により回線を通じて結ばれる。マスフローコントローラ12とのアナログ信号の授受は基板16〜18を介し行われるが、装置制御システム14とはデータ通信によりリンクされる。【効果】 装置制御システムとはコンパクトな別体装置としてマスフローコントローラ近傍へ配置可能となり、アナログ信号の通路短縮が図れ、マスフローコントローラの安定動作を可能とし、ハード設計が行ない易い。装置制御システムにてマスフローコントローラに対するA/D入力、D/A出力用制御を行う必要が無くソフトウエア開発も行い易い。
請求項（抜粋）：
1または2以上のマスフローコントローラからのアナログデータ信号をディジタルデータ信号に変換するマスフローコントローラ接続用A/D変換回路と、前記1または2以上のマスフローコントローラをドライブ制御するためのディジタル制御信号をアナログ制御信号に変換して当該マスフローコントローラに与えるマスフローコントローラ接続用D/A変換回路と、前記マスフローコントローラ接続用A/D変換回路の出力をディジタル通信路に送出するとともに前記ディジタル制御信号を該ディジタル通信路から受入れて前記マスフローコントローラ接続用D/A変換回路に与える通信制御部とを備えているマスフローコントローラ制御ユニット。
IPC (2件)：
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