特許

J-GLOBAL ID：200903015970492260

レチクルパタ-ンの作成方法及びその作成装置

発明者： 大橋 達夫 ,  倉薗 りつ子 ,  亀田 猛
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-013866
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214576
出願日： 1999年01月22日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】 本発明はレチクルパターンの作成方法に関し、スクライブラインへのマーク図形データを配置するレチクルパターンの作成方法を提供することを目的としている。【解決手段】 マーク図形データの配置規則をルール化し、コンピュータで、ルール化された配置規則に基づいて、スクライブラインへマーク図形データを配置するように構成する。

請求項（抜粋）：

マーク図形データの配置規則をルール化し、ルール化された配置規則に基づいて、スクライブラインへマーク図形データを配置することを特徴とするレチクルパターンの作成方法。

IPC (2件)：

G03F 1/08 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 1/08 M ,  H01L 21/30 502 P

Fターム (3件)：

2H095BA02 ,  2H095BB01 ,  2H095BE08