特許

J-GLOBAL ID：200903015974071439

圧電共振器、その製造方法、それを用いたフィルタ、共用器、および通信機器

発明者： 山口 博司 ,  中塚 宏 ,  大西 慶治 ,  山川 岳彦 ,  中村 弘幸
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小笠原 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-317184
公開番号（公開出願番号）：特開2005-210681
出願日： 2004年10月29日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：

【課題】 広帯域なΔfや高いQ値を得ることができる圧電共振器を提供すること。【解決手段】 本発明は、基板と、基板の上方に形成された下部電極と、下部電極の上方に形成された圧電体と、圧電体の上方に形成された上部電極と、下部電極、圧電体、および上部電極によって構成される振動部の下に形成されたキャビティとを備える圧電共振器である。振動部の厚さを半波長とする振動における共振周波数をfr1とし、キャビティを構成する材料内での平均音速をVc2とし、共振周波数fr1と平均音速Vc2とに基づいて決定される値をλc(=Vc2/fr1)とすると、キャビティの深さt2は、nを任意の自然数とした場合、となるように設定されている。【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

圧電共振器であって、 基板と、 前記基板の上方に形成された下部電極と、 前記下部電極の上方に形成された圧電体と、 前記圧電体の上方に形成された上部電極と、 前記下部電極、前記圧電体、および前記上部電極によって構成される振動部の下に形成されたキャビティとを備え、 前記振動部の厚さを半波長とする振動における共振周波数をfr1とし、 前記キャビティを構成する材料内での平均音速をVc2とし、 前記共振周波数fr1と前記平均音速Vc2とに基づいて決定される値をλc(=Vc2/fr1)とすると、 前記キャビティの深さt2は、nを任意の自然数とした場合、

IPC (3件)：

H03H9/17 ,  H03H3/02 ,  H03H9/58

FI (3件)：

H03H9/17 F ,  H03H3/02 B ,  H03H9/58 A

Fターム (9件)：

5J108AA07 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108EE04 ,  5J108KK03 ,  5J108KK07 ,  5J108MM11

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開昭60-68711号公報(第2〜4頁、図3、図4)