特許

J-GLOBAL ID：200903015976983915

導電膜及び低反射導電膜の製造方法

発明者： 森本 剛 ,  平塚 和也 ,  久保田 恵子 ,  竹宮 聡 ,  阿部 啓介
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-321495
公開番号（公開出願番号）：特開平5-132341
出願日： 1991年11月11日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：

【要約】【構成】ルテニウム化合物と、Si、Zr、Ti、Al、Sn等の化合物を含む塗布液をガラス基体上に塗布、加熱して導電膜を形成する。さらにその上に低屈折率膜を形成し、低反射導電膜を形成する。【効果】大面積にわたり、効率よく優れた低反射導電膜を形成できる。

請求項（抜粋）：

ルテニウム化合物と、その他の金属化合物とを含む塗布液を基体上に塗布した後、加熱することを特徴とする、酸化ルテニウムを含む導電膜の製造方法。

IPC (5件)：

C03C 17/25 ,  C03C 17/34 ,  H01B 5/14 ,  H01B 13/00 503 ,  H01J 9/20