特許

J-GLOBAL ID：200903015979940257

OBIC装置を用いた実デバイスの評価方法

発明者： 高洲 信一
出願人/特許権者： 日本電子株式会社 ,  日本電子ライオソニック株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-257775
公開番号（公開出願番号）：特開2000-088929
出願日： 1998年09月11日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：

【要約】【課題】 本発明はOBIC装置を用いた実デバイスの評価方法に関し、検出したい電流を正確に測定することができるOBIC装置を用いた実デバイスの評価方法を提供することを目的としている。【解決手段】 試料をステージに固定し、OBIC装置を用いて実デバイスを評価する方法であって、試料の故障ピンと電源、GND端子とOBICアンプを接続して構成する。

請求項（抜粋）：

試料をステージに固定し、OBIC装置を用いて実デバイスを評価する方法であって、試料の故障ピンと電源、GND端子とOBICアンプを接続したことを特徴とするOBIC装置を用いた実デバイスの評価方法。

IPC (3件)：

G01R 31/302 ,  G02B 21/00 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 31/28 L ,  G02B 21/00 ,  H01L 21/66 Y

Fターム (25件)：

2G032AA01 ,  2G032AB20 ,  2G032AC01 ,  2G032AE02 ,  2G032AK01 ,  2H052AA07 ,  2H052AA08 ,  2H052AC34 ,  2H052AD09 ,  2H052AD19 ,  2H052AF02 ,  2H052AF13 ,  2H052AF22 ,  2H052AF25 ,  4M106AA02 ,  4M106AA04 ,  4M106AA08 ,  4M106AB01 ,  4M106AC02 ,  4M106BA05 ,  4M106CA70 ,  4M106DH01 ,  4M106DH32 ,  4M106DH50 ,  4M106DJ24