特許
J-GLOBAL ID：200903015983863500
干渉計測方法および干渉計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-002936
公開番号（公開出願番号）：特開平8-189806
出願日： 1995年01月11日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：
【要約】【目的】 光学系に収差が存在したとしても平面および球面以外の形状を高い精度で測定すること。【構成】 基準面6で基準波面を生成し、被測定物7の反射によって被測定波面を生成する。両波面の干渉によって光強度検出器8の測定面に干渉縞が結像する。光強度検出器8からの信号によって干渉縞解析部9が波面形状の情報を出力する。収差検出部12は光学系の収差を検出し、この収差に応じた波面形状変形素子2が基準波面あるいは被測定波面を変形させるか、あるいは波面形状加減部11が波面形状の情報を補正する。
請求項（抜粋）：
基準波面と被測定波面の干渉によって形成された干渉縞を解析して被測定波面の形状情報を発生する干渉計測方法において、前記基準波面と前記被測定波面を生成し、両波面を干渉させて前記干渉縞を形成する光学系の収差を検出し、前記収差に応じて前記形状情報を補正することを特徴とする干渉計測方法。
IPC (2件)：
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