特許

J-GLOBAL ID：200903016001027912

光源装置、露光装置、並びにデバイス製造方法

発明者： 萩原 茂
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-133052
公開番号（公開出願番号）：特開2002-329906
出願日： 2001年04月27日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：

【要約】【課題】 光路を囲む空間内に一時的に不純物質が混入する場合にも、短時間でその不純物質を排除でき、しかも不純物質の残留の恐れの少ない光源装置を提供する。【解決手段】 光の光路を囲む空間のうち、不純物質が混入する空間を隔離する隔離装置90〜93を備える。これにより、不純物質の拡散が抑制され、汚染される空間の範囲が限定される。

請求項（抜粋）：

所定波長の光を発する光源装置であって、前記光の光路を囲む空間のうち、不純物質が混入する空間を隔離する隔離装置を備えることを特徴とする光源装置。

IPC (4件)：

H01S 3/03 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/03 Z ,  H01L 21/30 515 B

Fターム (15件)：

2H097BA02 ,  2H097CA01 ,  2H097CA13 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  2H097LA17 ,  5F046BA04 ,  5F046CA04 ,  5F046CB22 ,  5F046CB27 ,  5F071AA06 ,  5F071DD04 ,  5F071DD07 ,  5F071DD08 ,  5F071JJ08