特許
J-GLOBAL ID：200903016002243520
マイクロ波プラズマ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長尾 常明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-026067
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198391
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】従来のマイクロ波プラズマ装置では、アプリケータの反応管内に発生するプラズマは、マイクロ波の投入側にその強い部分を生じ易い傾向があり、可変短絡器等により調整をしようとしても、その均一化は困難であった。本発明は、上記問題点を解消し、より均一なプラズマを発生させ、より均一性の高い薄膜、表面改質等が得られるマイクロ波プラズマ装置を提供しようとするものである。【構成】アプリケータの構造を、反応管に対し等分割された複数の方向からマイクロ波を投入できるよう、複数個のマイクロ波投入口を有するものにした。
請求項（抜粋）：
金属筐体内に反応管を挿入してなるアプリケータを備えたマイクロ波プラズマ装置において、前記アプリケータは、前記反応管に対し等分割された複数の方向からマイクロ波を投入できるよう、複数個のマイクロ波投入口を有することを特徴とするマイクロ波プラズマ装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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