特許

J-GLOBAL ID：200903016002621591

金型およびその作製方法

発明者： 岡田 育夫 ,  吉原 秀雄
出願人/特許権者： エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-287964
公開番号（公開出願番号）：特開2002-096333
出願日： 2000年09月22日
公開日（公表日）： 2002年04月02日
要約：

【要約】【課題】 本発明の目的は、ガラスやプラスチックでできたレンズや回折格子などの射出成形に使用される金型において、刻印パタンの抜けや過剰なパタンなどの欠陥が少なく、また、刻印パタンの線幅や刻印深さなどの形状寸法を高精度に作製でき、また、長寿命で強固な金型を提供することである。【解決手段】 本発明に係わる金型は、金型の表層にあるパタン層がSiN(窒化珪素)であることを主要な特徴とする。また、金型の表層にあるSiN膜を、SiN膜上に皮膜したCr膜などを、所定のパタンに加工してマスクにしてSiN膜にパタンを刻印する方法を用いることにより、SiN金属膜のパタン寸法が精度良く製造することが出来るために、パタン寸法の精度が高い金型が得られる。

請求項（抜粋）：

台座と、対象物の表面に所定のパタンを刻むためのパタン層を該台座の表層に備え、該パタン層がSiN(窒化珪素)で構成されることを特徴とする金型。

IPC (4件)：

B29C 33/38 ,  C23C 16/34 ,  C03B 19/00 ,  B29L 11:00

FI (4件)：

B29C 33/38 ,  C23C 16/34 ,  C03B 19/00 Z ,  B29L 11:00

Fターム (13件)：

4F202AH73 ,  4F202AJ02 ,  4F202AJ09 ,  4F202CA11 ,  4F202CB01 ,  4F202CD24 ,  4F202CK11 ,  4K030AA03 ,  4K030AA06 ,  4K030AA13 ,  4K030BA40 ,  4K030CA03 ,  4K030LA23

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-204023
  
• 特開平1-148714
  
• 特開平2-204023
  
• 特開平1-148714