ペリクル粘着剤保護用ライナーの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-350066
公開番号（公開出願番号）：特開平11-167197
出願日： 1997年12月04日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：

【要約】【解決手段】プラスチックシートをそれぞれ四角リング状の内外2個の打ち抜き刃により四角リング状に打ち抜いてペリクル粘着剤保護用ライナーを製造する方法において、上記内外2個の打ち抜き刃が、それぞれ継ぎ目のない四角リング状に形成されてなることを特徴とするペリクル粘着剤保護用ライナーの製造方法。【効果】本発明のペリクル粘着剤保護用ライナーの製造方法によれば、発塵源になることがなく、寸法精度の極めて高いペリクル粘着剤保護用ライナーを連続的に得ることができる。

請求項（抜粋）：

プラスチックシートをそれぞれ四角リング状の内外2個の打ち抜き刃により四角リング状に打ち抜いてペリクル粘着剤保護用ライナーを製造する方法において、上記内外2個の打ち抜き刃が、それぞれ継ぎ目のない四角リング状に形成されてなることを特徴とするペリクル粘着剤保護用ライナーの製造方法。

IPC (3件)：

G03F 1/14 , B08B 17/02 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 1/14 J , B08B 17/02 , H01L 21/30 503 G , H01L 21/30 503 E

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