特許

J-GLOBAL ID：200903016027733777

ゲートバルブ

発明者： 石 垣 恒 雄 ,  藁 谷 健 二
出願人/特許権者： エスエムシー株式会社
代理人 (1件)： 林 宏 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-353705
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164255
出願日： 1991年12月18日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：

【要約】【目的】 高純度ガス系、超高真空系において使用するゲートバルブにおいて、弁板のシールのための操作力を弁箱の外側で発生させ、弁板の構造を単純な板材で構成することを可能とし、系内での駆動部分をなくして、構造を簡単、小型化し、操作力源等のメンテナンスも容易化する。【構成】 弁箱1の通孔4を開閉する弁板6を、閉弁位置と開弁位置とに移動可能に支持させ、閉弁位置にある弁板6の背後周辺部に、通孔4の周囲のシール部に弁板6を圧接する押圧部材14を対設し、弁板をシール部に圧接するための操作力源16を弁箱1外に設け、その操作力源から押圧部材14に至る押圧力伝達機構17を、弁箱1と押圧部材14との間に設けたベローズ20,21により弁箱内のバルブ室11から隔離する。

請求項（抜粋）：

弁箱内において通孔を開閉する弁板を、その通孔に対面する閉弁位置と、該通孔に対面する部分を開放する開弁位置とに移動可能に支持させ、閉弁位置にある上記弁板の背後周辺部に、通孔の周囲のシール部に弁板を圧接する押圧部材を対設し、上記弁板をシール部に圧接するための操作力源を弁箱外に設け、その操作力源から押圧部材に至る押圧力伝達機構を、弁箱と押圧部材との間に設けたベローズにより弁箱内のバルブ室から隔離した、ことを特徴とするゲートバルブ。