特許

J-GLOBAL ID：200903016038261354

露光データ作成方法及びその装置

発明者： 堀江 志定
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-272529
公開番号（公開出願番号）：特開平8-137086
出願日： 1994年11月07日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】【目的】安定した露光データを生成することのできる露光データ作成装置を提供する。【構成】露光データ作成装置は、CPU1〜12を有している。CPU1は、レイアウトデータ21からそれぞれ異なる分割位置で分割した複数の領域のデータよりなる分割領域データ22a〜22cを複数作成する領域分割処理を行う。次に、CPU1〜12は、並列処理を行い、分割領域データ22a〜22cの複数の領域のデータに対してそれぞれ変換処理を行い、それらの変換処理の処理結果を分割領域データ22a〜22c毎に合成した変換データ23a〜23cをそれぞれ作成する。そして、CPU1は、変換データ23a〜23cの論理和処理を行い、その処理結果を露光データ24として出力する。

請求項（抜粋）：

予め設計されたレイアウトデータを露光データに変換する露光データ作成方法であって、前記レイアウトデータをそれぞれ異なる分割位置で分割した複数の領域のデータよりなる分割領域データを複数作成し、それらの分割領域データの各領域のデータに対してそれぞれ変換処理を行い、それらの変換処理の処理結果を前記分割領域データ毎に合成した変換データをそれぞれ作成し、それらの変換データの論理和処理を行い、その処理結果を露光データとして出力するようにした露光データ作成方法。

IPC (3件)：

G03F 1/08 ,  G06F 17/50 ,  H01L 21/28