特許
J-GLOBAL ID:200903016045073377
計測装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
丸島 儀一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-074029
公開番号(公開出願番号):特開平6-288714
出願日: 1993年03月31日
公開日(公表日): 1994年10月18日
要約:
【要約】【目的】 受光素子のエリアが被測定物より狭くても、前記受光素子の受光面に結像する前記被測定物の像の結像倍率を小さくすることなしに、前記被測定物の測定したい部分を同時に測定できる。【構成】 一つの受光素子に対して複数の光学系を用意し、被測定物の相異なる複数の領域の像を前記受光素子の受光面に異なる位置に、前記複数の光学系によって結像させる。
請求項(抜粋):
光学系によって受光素子の受光面に被測定物の像を結像させ、画像処理によって前記像をもとに前記被測定物の形状や寸法等を計測する計測装置において、一つの受光素子に対して複数の光学系を配し、前記被測定物上の相異なる複数の領域の像を、前記複数の光学系によって前記受光面の相異なる領域に結像さすことを特徴とする計測装置。
IPC (4件):
G01B 11/00
, G01B 11/24
, G06F 15/62 400
, G06F 15/64
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