特許

J-GLOBAL ID：200903016046599348

光源装置、露光装置、露光装置の製造方法、及びデバイス製造方法

発明者： 大槻 朋子 ,  土肥 正明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-190826
公開番号（公開出願番号）：特開2002-050815
出願日： 2000年06月26日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：

【要約】【課題】 簡単な構成で所定の波長の光を効率良く発生する。【解決手段】 フォスフェイトガラス又は酸化ビスマス系ガラスを主材とし、高密度に希土類元素が添加された光導波路部材175を使用して光増幅器167を構成する。この結果、短い長さの光導波路部材175によって高い増幅率で入射光を増幅することができる。このため、光導波路部材を経由することによって発生する偏光状態の変化を低減しつつ、高強度の光を波長変換器163に供給することができる。また、増幅にあたって光が経由する経路の長さが短くなるので、誘導ラマン散乱や自己位相変調によるスペクトルの広がりも抑制することができる。したがって、簡易な構成で狭帯域の波長変換光を効率良く発生することができる。

請求項（抜粋）：

希土類元素が添加されたフォスフェイトガラス及び酸化ビスマス系ガラスのいずれかを主材とする光導波路部材を含み、入射光を増幅する光増幅器と;前記光増幅器から射出された光の波長を変換する波長変換器と;を備える光源装置。

IPC (5件)：

H01S 3/10 ,  G02F 1/37 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/06

FI (5件)：

H01S 3/10 Z ,  G02F 1/37 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/06 B ,  H01L 21/30 515 B

Fターム (28件)：

2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002CA02 ,  2K002EB15 ,  2K002HA20 ,  2K002HA31 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CA08 ,  5F046CB01 ,  5F046CB04 ,  5F046CB22 ,  5F046DA01 ,  5F072AB09 ,  5F072AK06 ,  5F072JJ01 ,  5F072JJ13 ,  5F072KK05 ,  5F072KK08 ,  5F072KK12 ,  5F072KK15 ,  5F072KK30 ,  5F072MM03 ,  5F072PP07 ,  5F072QQ02 ,  5F072RR05 ,  5F072YY09