特許

J-GLOBAL ID：200903016048260313

マッピングデータ作成方法

発明者： 沖野 雅之
出願人/特許権者： 東芝精機株式会社
代理人 (1件)： 塩川 修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-300661
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132366
出願日： 1992年10月14日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：

【要約】【目的】 マッピングデータを迅速且つ高精度に作成可能とすること。【構成】 ウエハ1における外周に欠けのない良外形ペレットの位置データを作成するマッピングデータ作成方法において、ウエハ1と認識ユニット13とを対向配置するとともに、両者を相対移動させることによりウエハ1におけるペレット像を認識ユニット13にて順次取り込み、取り込んだ画像を画像処理し、その処理画像を予め設定した良外形ペレット画像と比較して良外形ペレットか不良外形パレットかを判別し、その判別結果をウエハ1における行、列情報と対応させて記憶装置16に記憶させるように演算処理すること。

請求項（抜粋）：

ウエハにおける外周に欠けのない良外形ペレットの位置データを作成するマッピングデータ作成方法において、ウエハと認識装置とを対向配置するとともに、両者を相対移動させることによりウエハにおけるペレット像を認識装置にて順次取り込み、取り込んだ画像を画像処理し、その処理画像を予め設定した良外形ペレット画像と比較して良外形ペレットか不良外形ペレットかを判別し、その判別結果をウエハにおける行、列情報と対応させて記憶装置に記憶させるように演算処理することを特徴とするマッピングデータ作成方法。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G06F 15/21

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-154432
  
• 特開平3-102846
  
• 特開平2-154432
  
• 特開平3-102846