特許

J-GLOBAL ID：200903016050944386

加工装置のチャック装置

発明者： 小榑 利春
出願人/特許権者： セイコー精機株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-053026
公開番号（公開出願番号）：特開平7-237066
出願日： 1994年02月25日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：

【要約】【目的】 加工対象ワークとチャックプレートとの間隔を均一にしながら、冷凍チャックを用いて加工対象ワークを固定することができるようにする。【構成】 チャックプレート12の上面に設けられた液体出口18から放出される液体14の圧力と加工対象ワーク11の重量とのバランスにより、チャックプレート12の上面と加工対象ワーク11との間隔が略一定になるように、液体14を介して加工対象ワーク11がチャックプレート12上に保持される。この状態で、冷凍チャック15によってチャックプレート12を冷却すると、液体14が固化し、氷の層を介して加工対象ワーク11がチャックプレート12上に固定される。

請求項（抜粋）：

加工装置における加工対象ワークを氷を介して固定するためのチャックプレートと、このチャックプレート上に、氷を形成するための液体を供給する液体供給手段と、この液体供給手段によって前記チャックプレート上に供給された液体を冷凍して氷を形成する冷凍手段と、この冷凍手段によって形成される氷によって前記チャックプレートの上面に固定される加工対象ワークと前記チャックプレートの上面との間隔を均一化する間隔均一化手段とを具備することを特徴とする加工装置のチャック装置。

IPC (5件)：

B23Q 3/08 ,  B28D 7/04 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/301

FI (2件)：

H01L 21/78 M ,  H01L 21/78 N

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-246447
  
• 特開平2-124243
  
• 特開昭64-016886
  
• 特開昭63-283037