特許

J-GLOBAL ID：200903016059598324

位置合わせ方法及び装置

発明者： 西 健爾
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-328904
公開番号（公開出願番号）：特開平5-166697
出願日： 1991年12月12日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：

【要約】【目的】 オリエンテーションフラットやノッチ等の位置決め基準を備えていない基板を所定の基準位置に対して位置合わせする。【構成】 基板1上に所定の配列でパターン領域PAを形成する際に、パターン領域の配列座標の特定の座標軸に対して非対称な位置に基準のマーク24,25、若しくは基準のパターン領域27を形成する。このマーク、若しくはパターン領域の存在位置を検出して、位置合わせすべき位置との相対偏差が所定の値となるように基板を移動する。【効果】 位置決め基準としてのオリエンテーションフラット等の切り欠きを基板に設けなくてすむため、基板の処理工程で発生する基板の歪み等が極力抑えられる。

請求項（抜粋）：

予め定められた特徴的な配列でパターン領域を形成した基板を、所定の基準点に対して位置合わせする方法において、前記特徴的な配列のパターン領域を前記基板上に形成する際に、該パターン領域の配列座標を設定し、該座標の特定の軸に対して非対称な設計上の位置に少なくとも1対の基準マークを形成する工程と;前記基準点と一義的な位置で前記基準マークを検出することによって、該マークの存在位置を検出する工程と;該検出された存在位置と前記基準点との相対偏差が予め定められた値となるような方向に、前記基板を移動する工程とを含むことを特徴とする位置合わせ方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 311 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-278721
  
• 特開平1-235954
  
• 特開昭63-178539
  
• 特開平1-289112