特許
J-GLOBAL ID：200903016060212901
石英ガラスターゲット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅野 豊司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-176216
公開番号（公開出願番号）：特開平5-341279
出願日： 1992年06月10日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【構成】 0.5〜20μmの粒度分布の合成シリカ粉末をスラリー化し、多孔質板鋳型でスパッタリング時のエロージョンエリア内となる部分を肉厚とし、アルカリ金属不純物が0.5ppm以下、不純物総量が5ppm以下で泡の占有面積が0.5mm2/100cm3以下、かつ、焼結直後の表面の粗さRmaxが5μm以下である石英ガラスターゲット。【効果】 材料の歩留りが低下しないニアネットシェープ石英ガラスを用い、スパッタリングにより消耗されやすい部分を肉厚にすることを可能にし、かつ、密度、純度、粘性が高く、泡が少なく、表面が滑らかで研磨作業が不要となり、またアルカリ金属不純物濃度が低い特性を有するため高度化されたELや液晶の絶縁膜に好適である。
請求項（抜粋）：
0.5〜20μmの粒度分布の合成シリカ粉末をスラリー化し、多孔質板鋳型を用いてスパッタ時のエロージョンエリア内となる部分を肉厚してなる石英ガラスターゲット。
IPC (2件)：
G02F 1/1333 500
, C03B 8/02
