回折光学素子及び該素子の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：日比谷征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-363413
公開番号（公開出願番号）：特開平11-174215
出願日： 1997年12月16日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：

【要約】【課題】精度良く階段形状を形成し紫外線用に利用可能高性能の回折光学素子を得る。【解決手段】石英基板2を使用し、BOレンズ1の素子単位の最上段の最外周に当る領域に、予めフォトレジスト3を0.6μm程度塗工した後に、アルミナ膜4を厚さ0.124μm蒸着し、更にレジストを酸素プラズマを使用したアッシャ法で除去し、アルミナ膜4のパターン3’を形成する。次に、λ=365nmのi線用のステッパを使用し、クロムマスク5、6のパターンを石英基板2上のフォトレジストに縮小焼付けし、現像したレジストパターンをマスクとしてドライエッチング(RIE)法を使用し、石英基板2をエッチング加工する工程を2度繰り返し、更に先のアルミナ膜4をエッチングマスクとしてエッチングを行って、BOレンズ1を作成する。

請求項（抜粋）：

階段形状の最上段となる位置に配置したエッチングマスクを使用して、所定段数の階段加工を行って形成したことを特徴とする回折光学素子。

引用特許：

出願人引用 (1件)

回折格子板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-063869 出願人：オリンパス光学工業株式会社

審査官引用 (1件)

回折格子板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-063869 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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