特許

J-GLOBAL ID：200903016061458920

回転数検出装置

発明者： 谷上 昌伸
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-190611
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010767
出願日： 1991年07月03日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】 光路媒質が回転している場合、コイル状の光路内を逆向きに進む光に光路差が発生することを利用した光学式の回転数検出装置において、その超薄型化、小形化、高精度化を図る。【構成】 基板1の表面に2P法により平面コイル状をした光導波路2を形成した。レーザ発振器6で発生させられたレーザ光は、ビームスプリッタ7で2つに分けられた後、光導波路2の両端へ導かれ、光導波路2内を互いに逆方向に進む。光導波路2の回転によって両方向に進む光に生じた位相差は、光検出器11によって検出される。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された平面コイル状の光導波路と、当該光導波路の両端部から光導波路内を互いに反対向きに進むように光線を入射させる手段と、当該光導波路の両端部から出射した前記光線の位相差を検出する手段とからなる回転数検出装置。