特許
J-GLOBAL ID:200903016062455992
磁性薄膜構造体
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
須山 佐一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-335268
公開番号(公開出願番号):特開平7-201563
出願日: 1993年12月28日
公開日(公表日): 1995年08月04日
要約:
【要約】【目的】 非晶質磁性層と下地等との十分な付着力が得られると共に、非晶質磁性層の特性劣化を抑制することを可能にした磁性薄膜構造体を提供する。【構成】 基板1上に酸化物材料からなる絶縁性下地層2を設ける。この絶縁性下地層2上に、Nb、Ta、Ti、ZrおよびHfから選ばれる少なくとも 1種の元素を主成分とする中間金属層3を形成し、この中間金属層3を介して、Co、FeおよびNiから選ばれる少なくとも 1種の強磁性元素を含む非晶質磁性層4を形成する。
請求項(抜粋):
酸化物材料からなる絶縁性下地と、前記絶縁性下地上に設けられ、Nb、Ta、Ti、ZrおよびHfから選ばれる少なくとも 1種の元素を主成分とする中間金属層と、前記中間金属層上に設けられ、Co、FeおよびNiから選ばれる少なくとも 1種の強磁性元素を含む非晶質磁性層とを具備することを特徴とする磁性薄膜構造体。
IPC (4件):
H01F 10/14
, C22C 45/02
, C22C 45/04
, C23C 14/06
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開昭61-144006
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特開昭61-108113
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