特許
J-GLOBAL ID：200903016064056106
研磨剤の再生方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
守田 賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-281661
公開番号（公開出願番号）：特開2000-109793
出願日： 1998年10月02日
公開日（公表日）： 2000年04月18日
要約：
【要約】【課題】 研磨剤中の凝集した砥粒を確実に再分散させて、ガラス基板等の被研磨体における傷発生を未然に防止するとともに、研磨剤の使用効率を向上させてコスト低減を図る。【解決手段】 タンク6には研磨機で使用された研磨剤が排出管5より流入する。タンク6の周壁64および底壁65には適当数の超音波振動子8が設けてあり、これら超音波振動子8から超音波がタンク6内へ発射されている。研磨工程で分子間力等によって互いに凝集して比較的大きな粒体となった研磨剤中の砥粒は、タンク6内で超音波の振動エネルギーを受けて再び個々の小径の砥粒に分散する。
請求項（抜粋）：
研磨剤に超音波を当てて、研磨剤中の凝集した砥粒を再分散させることを特徴とする研磨剤の再生方法。
IPC (2件)：
C09K 3/14 550
, B24B 57/02
C09K 3/14 550 D
, B24B 57/02
3C047FF08
, 3C047GG13
, 3C047GG18
