ロボット

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-056562
公開番号（公開出願番号）：特開平6-023687
出願日： 1993年02月22日
公開日（公表日）： 1994年02月01日
要約：

【要約】【目的】半導体の製造工程等の、特に発塵や潤滑が問題となる特殊環境下で使用することのできる、機械的接触部分を有さないロボットを提供する。【構成】先端ハンドを有するアーム(2)を水平方向に非接触で支持し移動させる、磁気軸受とリニアモータからなる水平駆動部(3)と、該水平駆動部(3)を搭載した浮上体(5)を非接触で支持し回転させる、磁気軸受と回転形モータからなる回転駆動部(6)とを具備することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

先端にハンドを有するアームを水平方向に非接触で支持し移動させる、磁気軸受とリニアモータからなる水平駆動部と、該水平駆動部を搭載した浮上体を非接触で支持し回転させる、磁気軸受と回転形モータからなる回転駆動部とを具備することを特徴とするロボット。

IPC (3件)：

B25J 19/00 , F16C 32/04 , H02K 37/22

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平4-046781
特開昭58-114883
特開昭63-092205

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