特許
J-GLOBAL ID：200903016081928419
除振装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-265750
公開番号（公開出願番号）：特開平7-098037
出願日： 1993年09月29日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：
【要約】【目的】加振器を制御するコントローラに大きな負荷をかけることなく効率よく振動を除振でき、且つ装置価格も安価な除振装置を提供する。【構成】加振器16、振動センサー18及びコントローラ20から成る加振装置と、弾性体22と弾性体22に所定の垂直荷重をかける荷重台24から成る吸振装置と、から構成される。弾性体22としては、スプリングバネ、空気バネ、ゴム支柱等が使用され、床14面と荷重台24との間の4隅に夫々配設される。また、加振器16は、荷重台24と機器搭載台12との間の4隅に夫々配設され、機器搭載台12の上に半導体機器10が据え付けらる。また、振動センサ18は機器搭載台12上に設けられ、信号回線26を介してコントローラ20に接続されている。また、コントローラ20は信号回線28を介して加振器16に接続されている。そして、コントローラ20は振動センサ18で検出した常時微振動とは逆位相の機械振動を加振器16に発生させるようになっている。
請求項（抜粋）：
基台上に設けられた吸振器及び前記吸振器の上に設けられ前記吸振器に所定の垂直荷重をかける荷重台で構成され、外部から前記基台に与えられる外部振動のうちの高周波成分を除去する吸振装置と、前記荷重台の上に設けられ機械的に振動を発生する加振器、前記加振器の上に設けられ機器を搭載する機器搭載台、前記外部振動のうち前記吸振装置で高周波成分が除去された低周波振動を検出する振動センサ、及び検出した低周波振動とは逆位相の逆位相振動を前記加振器に発生させる制御手段で構成され、前記低周波振動を加振器の逆位相振動で相殺することにより前記外部振動のうちの低周波成分を除去する加振装置と、から成ることを特徴とする除振装置。
IPC (3件)：
F16F 15/02
, F16F 15/04
, G05D 19/02
