特許
J-GLOBAL ID：200903016086625686
フツ化物ガラスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-223714
公開番号（公開出願番号）：特開平5-043256
出願日： 1991年08月09日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：
【要約】【目的】 フッ化物ガラスの気相合成の際のBa源の安定供給を可能にし、組成が均一で、かつ大型のフッ化物ガラスを製造する方法を提供することにある。【構成】 Baとβ-ジケトンからなる錯体を第1の出発原料とし、金属元素のガス状および/または蒸発可能な化合物を第2の出発原料とし、これら第1の出発原料と、第2の出発原料と、フッ素化剤として使用される含フッ素ガスとを混合して、基体を設けた反応系に導入し、これらの成分を気相または前記基本上で反応させて、前記基本上にフッ化物ガラスを生成する方法において、前記Baとβ-ジケトンからなる錯体を、ビス(1,1,1,2,2-ペンタフロロ-6,6-ジメチル-3,5-ヘプタンジオメト)バリウムとする。
請求項（抜粋）：
Baとβ-ジケトンからなる錯体を第1の出発原料とし、金属元素のガス状および/または蒸発可能な化合物を第2の出発原料とし、これらの第1の出発原料と、第2の出発原料と、フッ素化剤として使用される含むフッ素ガスとを混合して、基体を設けた反応系に導入し、これらの成分を気相または前記基体上で反応させて、前記基体上にフッ化物ガラスを生成する方法において、前記Baとβ-ジケトンからなる錯体が下記構造式【化1】で表わされる化合物であることを特徴とするフッ化物ガラスの製造方法。
IPC (6件)：
C03B 8/04
, C03C 3/32
, C03C 13/04
, G02B 1/04
, G02B 6/00 356
, H01S 3/08
