特許
J-GLOBAL ID：200903016087540757
光導波回路及びその製造方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-134585
公開番号（公開出願番号）：特開平9-318850
出願日： 1996年05月29日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】 反射角度の制御性を向上させ、且つ、量産性の高い光垂直入出力構造を提供し、より、多機能な光導波回路及びその製造方法を実現することを目的とする。【解決手段】 光取り出し溝4の内面に液状硬化物質7に対して二つの異なる接触角を呈する領域5,6を設けることで、その境界線を反射材支持層7の斜面表面を任意角度とする平坦な反射面13の形成が可能となる。
請求項（抜粋）：
平坦な基板上にコア及びこれを囲むクラッドからなる光導波路で構成された光回路と、該光導波路の光軸に直交して設置され前記コアより深い深さDを有する矩形断面の光取り出し溝と、前記光導波路端である該光取り出し溝の第一の壁面と、前記光取り出し溝において前記第一の壁面に対向する第二の壁面と、前記光取り出し溝の底面の前記第二の壁面側におけるコーナー部に液状硬化物質で形成され、前記基板に対して傾斜角θの表面を有する反射材支持層と、該反射材支持層の表面に設けられた反射材と、前記光取り出し溝に連通する液溜めとを有する光導波回路において、前記光取り出し溝の底面は、前記第一、第二の壁面に平行で前記第二の壁面から所定の距離dに設けられた境界線を境として、第一の壁面側が前記液状硬化物質に対して比較的高い接触角θ<SB>H</SB>を呈する高接触角領域となり、且つ、第二の壁面側が前記液状硬化物質に対して比較的低い接触角θ<SB>L</SB>を呈する低接触角領域となり、前記反射材支持層の表面の傾斜角θが下式(1)(2)を満足し、更に、前記液溜めの近傍に配置され前記液状硬化物質と濡れの良いクラッド表面でつながる前記光取り出し溝とは連通しない液量調整溝と、前記液溜めに前記クラッド表面へ溢れるまで満たされる前記液状硬化物質と、前記光取り出し溝に対して前記第二の壁面側に直角に折り曲げられ、その一端が前記液溜めと連通し、且つ、その他端が溝内面の前記液状硬化物質に対する接触角状態を共通するように前記光取り出し溝と連通している液流制御L溝とを備えることを特徴とする光導波回路。θ=tan <SP>-1</SP>(D/d) ...(1)θ<SB>L</SB>≦θ<θ<SB>H</SB> ...(2)
IPC (2件)：
FI (2件)：
前のページに戻る
