特許

J-GLOBAL ID：200903016088448838

圧電振動子

発明者： 白石 政良 ,  荒武 潔
出願人/特許権者： セイコーインスツル株式会社
代理人 (1件)： 松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-171281
公開番号（公開出願番号）：特開2005-333658
出願日： 2005年06月10日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：

【課題】 圧電振動子の特性を低下させることのない圧電振動子とその製造方法を提供する。【解決手段】 水晶振動片11と、その基端部50に一体的に接続されて前記圧電振動片11の周囲を囲む枠状部15とを有する水晶振動板12の上下面に、励振電極16a、16bと接合膜17を同時に形成し、蓋体14a、14bの水晶振動板12と対向する面上に接合電極膜21とその上面にガラスからなる接合層22を形成し、接合膜17と接合層22を接合することにより水晶振動板12と蓋体14a、14bとを一体に接合する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

圧電振動片と、その基端部に一体的に接続されて前記圧電振動片の周囲を囲む枠状部とを有する圧電振動板と、 前記圧電振動片の上下面に形成された励振電極膜と、 前記枠状部の上下面に形成され、前記励振電極膜と接続された接合膜と、 前記圧電振動片の振動を妨げることなく気密封止するために、前記圧電振動板の枠状部の上下側に接合された一対の蓋体とを備え、 前記一対の蓋体には、接合電極膜と接合層が設けられたことを特徴とする圧電振動子。

IPC (4件)：

H03H9/19 ,  H01L41/09 ,  H01L41/22 ,  H03H3/02

FI (4件)：

H03H9/19 J ,  H03H3/02 D ,  H01L41/08 C ,  H01L41/22 Z

Fターム (17件)：

5J108BB02 ,  5J108BB03 ,  5J108BB04 ,  5J108CC06 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108EE17 ,  5J108GG03 ,  5J108GG07 ,  5J108GG17 ,  5J108KK01 ,  5J108KK03 ,  5J108KK07 ,  5J108MM04 ,  5J108MM11