特許

J-GLOBAL ID：200903016091825812

ポジ型感放射線性組成物

発明者： 田村 一貴 ,  大林 元太郎
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-323894
公開番号（公開出願番号）：特開2000-227660
出願日： 1999年11月15日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：

【要約】【課題】サブクォーターミクロンのパターン加工が可能な解像度を持ち、高感度なポジ型感放射線性組成物を得る。【解決手段】下記一般式(1)で示される構造単位を含む重合体および放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【化1】(ここでXはハロゲン元素またはシアノ基、Zは酸素原子または窒素原子、RはZに結合している炭素が1級または2級で炭素数1から10のアルキレン基、Aは酸の作用で分解し、アルカリ可溶性となる基を少なくとも1つ有するアリール基を表す。)

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で示される構造単位を含む重合体および放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【化1】(ここでXはハロゲン元素またはシアノ基、Zは酸素原子またはイミノ基、RはZに結合している炭素が1級または2級で炭素数1から10のアルキレン基、Aは酸の作用で分解し、アルカリ可溶性となる基を少なくとも1つ有するアリール基を表す。)

IPC (2件)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R