特許

J-GLOBAL ID：200903016105337301

形状可変ミラー素子及び形状可変ミラー素子の製造方法並びに形状可変ミラーユニット並びに光ピックアップ

発明者： 柴田 寛 ,  堀之内 昇吾 ,  松原 正吾
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (3件)： 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-143027
公開番号（公開出願番号）：特開2004-347753
出願日： 2003年05月21日
公開日（公表日）： 2004年12月09日
要約：

【課題】簡単な構成で極めて薄く、低い印加電圧でも変形量が大きい形状可変ミラー素子及び形状可変ミラーユニットを提供する。【解決手段】形状可変ミラー素子は、反射ミラー膜と反射ミラー膜の形状を可変する圧電膜と圧電膜の両端に所定の電圧を印加する電極膜と、所望の形状に変化せしめる弾性板膜からなる積層膜で構成される。薄い基板と積層膜で構成されているために、簡単な構成で極めて薄い素子が可能となる。従って、低い印加電圧でも変形量が大きい形状可変ミラー素子を提供できる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

圧電膜と、前記圧電膜に電圧を供給する第1電極膜及び第2電極膜と、前記圧電膜に設けられた反射ミラー膜とを備えた形状可変部と、前記形状可変部を支持する基板とを備えた形状可変ミラー素子であって、形状可変部に弾性を付与する弾性手段を設けたことを特徴とする形状可変ミラー素子。

IPC (6件)：

G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B5/10 ,  G11B7/125 ,  G11B7/22

FI (8件)：

G02B26/08 E ,  G02B26/08 J ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B5/10 B ,  G02B5/10 C ,  G11B7/125 B ,  G11B7/22

Fターム (18件)：

2H041AA11 ,  2H041AA23 ,  2H041AB12 ,  2H041AB38 ,  2H041AC08 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08 ,  2H042DD13 ,  5D789AA02 ,  5D789AA03 ,  5D789AA17 ,  5D789BA01 ,  5D789EC01 ,  5D789EC04 ,  5D789HA35 ,  5D789JA57 ,  5D789NA05 ,  5D789NA07