特許

J-GLOBAL ID：200903016109015937

除振装置

発明者： 加藤 宏昭
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-072805
公開番号（公開出願番号）：特開平10-256144
出願日： 1997年03月11日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 パラメータを各々独立して調整でき、除振台の支持の安定化調整と制振性能、除振性能の追い込みを見通し良く行なうことができる除振装置の提供。【解決手段】 鉛直と水平方向位置センサ3,6の位置偏差を入力として、除振台8の振動モード偏差を生成する振動モード抽出装置12と、鉛直と水平方向加速度センサ4,7の加速度信号を入力として、除振台の振動モード加速度を生成する振動モード抽出装置12’と、振動モード偏差を入力として位置に関する補償値を生成する位置補償器10と、振動モード加速度を入力として加速度に関する補償値を生成する加速度補償器11と、位置に関する補償値と加速度に関する補償値の符号反転との和である振動モード補償値を入力として、鉛直方向アクチュエータと水平方向アクチュエータへの駆動指令を生成する振動モード分配装置13とを有する。

請求項（抜粋）：

各1台が鉛直方向加速度センサと、鉛直方向位置センサと、水平方向加速度センサと、水平方向位置センサと、鉛直方向アクチュエータと、水平方向アクチュエータとを有する4台の除振手段で除振台を支持する除振装置において、前記鉛直方向および水平方向の位置センサの出力に基く6ケ所以上の位置偏差を入力として、前記除振台の6自由度の振動モードに関する振動モード偏差を生成する第1の振動モード抽出装置と、前記鉛直方向および水平方向の加速度センサによる6ケ所以上の加速度信号を入力として、前記除振台の6自由度の振動モードに関する振動モード加速度を生成する第2の振動モード抽出装置と、前記振動モード偏差を入力として位置に関する補償値を生成する位置補償器と、前記振動モード加速度を入力として加速度に関する補償値を生成する加速度補償器と、前記位置に関する補償値と前記加速度に関する補償値の符号反転との和である振動モード補償値を入力として、前記鉛直方向アクチュエータおよび水平方向アクチュエータへの駆動指令を生成する振動モード分配装置とを有する制御装置を具備することを特徴とする除振装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  B23Q 11/00 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 503 F ,  B23Q 11/00 A ,  G03F 7/20 521