特許
J-GLOBAL ID：200903016110572459

光導波路形成用放射線硬化性組成物および光導波路

発明者：
玉木 研太郎

玉木 研太郎 について

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宇高 友広

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高瀬 英明

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江利山 祐一

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出願人/特許権者：
ジェイエスアール株式会社

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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-383161
公開番号（公開出願番号）：特開2003-185860
出願日： 2001年12月17日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：
【要約】【課題】 波長365nmの紫外線に対して優れた感度を有し、高精度のパターンを形成できると同時に光学特性が良好で高湿、恒温下での長期の使用条件においても安定した光学特性を維持できる光導波路に関する。【解決手段】 (A)下記一般式(1)で表される加水分解性シラン化合物、その加水分解物およびその縮合物からなる群から選ばれる少なくとも一つの化合物RmSi(X)4-m (1)(Rは炭素数1〜12の非加水分解性の有機基、Xは加水分解性基、mは0〜3である)ならびに(B)波長365nmに吸収を有する有機オニウム塩を含有する光導波路形成用放射線硬化性組成物。
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(1)で表される加水分解性シラン化合物、その加水分解物およびその縮合物からなる群から選ばれる少なくとも一つの化合物RmSi(X)4-m (1)(Rは炭素数1〜12の非加水分解性の有機基、Xは加水分解性基、mは0〜3である)ならびに(B)波長365nmに吸収を有する有機オニウム塩を含有する光導波路形成用放射線硬化性組成物。
IPC (2件)：
G02B 6/12 ,  G03F 7/004 501
FI (2件)：
G03F 7/004 501 ,  G02B 6/12 N
Fターム (14件)：
2H025AB14 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BE07 ,  2H025CB14 ,  2H025CB33 ,  2H025CC17 ,  2H047KA04 ,  2H047PA02 ,  2H047PA15 ,  2H047PA24 ,  2H047PA28 ,  2H047QA05 ,  2H047TA41
引用特許：
審査官引用 (3件)

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