特許
J-GLOBAL ID：200903016115280529

形状可変ミラー素子

発明者：
柴田 寛

柴田 寛 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (3件)： 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-182646
公開番号（公開出願番号）：特開2006-003814
出願日： 2004年06月21日
公開日（公表日）： 2006年01月05日
要約：
【課題】ミラー面の形状を高精度で且つ多様な形状に可変できる形状可変ミラー素子を提供することを目的とする。【解決手段】形状可変ミラー素子1は、基板2と、基板2に一体連結した形状可変部3と、形状可変部3に電圧を印加するための下部電極4と、上部電極5-1,5-2とからなる。複数の上部電極5-1,5-2を有しているので、各々の電極に同極性で同一もしくは異なる電圧を印加することで、形状可変部3を目的の可変形状に制御することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
少なくとも、圧電膜と、前記圧電膜の上下に配置された電極膜と、いずれかの電極膜上に配置された反射ミラー膜とからなる形状可変部と、前記形状可変部を支持する基板とを備えた形状可変ミラー素子であって、少なくとも片方の面の電極膜は複数の電極に分割されていることを特徴とする形状可変ミラー素子。
IPC (1件)：
G02B 5/08
FI (1件)：
G02B5/08 B
Fターム (2件)：
2H042DD10 ,  2H042DD13
引用特許：
出願人引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM