面圧力分布検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-207710
公開番号（公開出願番号）：特開2002-013992
出願日： 2000年07月10日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：

【要約】【課題】面圧力分布検出装置の欠陥検出を可能にする回路構造を提供する。【解決手段】面圧力分布検出装置は絶縁基板1を用いて形成されており、その上には互いに接続した電極2及び薄膜トランジスタ3の組を含む素子領域がマトリクス状に集積配列している。各電極2は素子領域毎に直上から印加される信号電圧に感応する一方、各薄膜トランジスタ3は信号配線9及びゲート配線6aにより順次オン/オフ制御され対応する電極2に印加された信号電圧の検出を行なう。配線9には欠陥検査用のスイッチSWが設けてある。又、各素子領域には、欠陥検査用の補助容量を設ける様にしても良い。

請求項（抜粋）：

マトリクス状に交差した配線と、互いに接続した電極及び薄膜トランジスタの組を含む素子領域とが基板に集積形成されており、各素子領域が該配線の各交差部に配され、各電極は素子領域毎に直上から印加される面圧力に応じた信号電圧に感応する一方、各薄膜トランジスタは該配線を介して順次オン/オフ制御され且つ対応する電極に印加された信号電圧の検出を行なう面圧力分布検出装置であって、マトリクス状に交差した配線の少なくとも一部に欠陥検査用のスイッチを設けたことを特徴とする面圧力分布検出装置。

IPC (3件)：

G01L 5/00 101 , H01L 29/786 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01L 5/00 101 Z , H01L 29/84 Z , H01L 29/78 624

Fターム (55件)：

2F051AB06 , 2F051AC01 , 4M112AA07 , 4M112BA03 , 4M112CA46 , 4M112CA52 , 4M112DA17 , 4M112EA04 , 5F110AA24 , 5F110BB01 , 5F110BB09 , 5F110CC08 , 5F110DD02 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF09 , 5F110FF29 , 5F110FF30 , 5F110FF32 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG25 , 5F110GG32 , 5F110GG34 , 5F110GG45 , 5F110GG52 , 5F110HJ01 , 5F110HJ04 , 5F110HJ12 , 5F110HJ13 , 5F110HJ23 , 5F110HL03 , 5F110HL04 , 5F110HL23 , 5F110HL27 , 5F110HM15 , 5F110NN03 , 5F110NN04 , 5F110NN14 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN35 , 5F110NN72 , 5F110PP03 , 5F110PP10 , 5F110PP35 , 5F110QQ09 , 5F110QQ12 , 5F110QQ19 , 5F110QQ23

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