特許

J-GLOBAL ID：200903016121514183

半導体装置及び有機ELディスプレイ装置

発明者： 山内 幸夫 ,  荒井 三千男
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社 ,  株式会社半導体エネルギー研究所
代理人 (1件)： 山谷 晧榮 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-053243
公開番号（公開出願番号）：特開平10-254383
出願日： 1997年03月07日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】有機ELディスプレイ装置の微細化、高解像度化をはかるための半導体装置を提供すること。【解決手段】ソース領域105、ドレイン領域107、ゲート電極104を具備する薄膜トランジスタと、これに接続される上層配線との間に、上に窒化チタン薄膜を積層したタングステンよりなるバリアメタル108を設けることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ソース・ドレイン及びゲートを具備する薄膜トランジスタと、これに接続される上層配線との間に、上に窒化チタン薄膜を積層したタングステンよりなるバリアメタルを有することを特徴とする半導体装置。

IPC (3件)：

G09F 9/30 365 ,  H01L 29/786 ,  H05B 33/26

FI (3件)：

G09F 9/30 365 C ,  H05B 33/26 ,  H01L 29/78 613 Z