特許

J-GLOBAL ID：200903016127400198

常圧プラズマを用いた連続成膜法

発明者： 林 秀樹
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-359087
公開番号（公開出願番号）：特開2001-181850
出願日： 1999年12月17日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：

【要約】【課題】基材上に成膜された薄膜をインラインで測定できるようにする。【解決手段】成膜された基材S上に光を照射する光源2と、基材Sで反射された反射光を分光する分光器3と、その分光された光を検出するオプティカルマルチチャンネルアナライザ4と、このアナライザ4の出力に基づいて薄膜の膜厚を算出するコンピュータ5とを設けて、基材Sに成膜された薄膜の膜厚をインラインで測定する。また、その膜厚測定値をもとにフィードバック制御を行うことにより、膜厚を一定に保つ。

請求項（抜粋）：

大気圧近傍の圧力下、混合ガス雰囲気中で、放電プラズマ処理を行うことにより基材上に薄膜を形成する連続成膜法において、成膜された基材上に光を照射する光源と、基材で反射された反射光を分光する分光器と、その分光された光を検出するオプティカルマルチチャンネルアナライザと、このアナライザの出力に基づいて薄膜の膜厚を算出するコンピュータとを設けて、基材に成膜された薄膜の膜厚をインラインで測定することを特徴とする常圧プラズマを用いた連続成膜法。

IPC (4件)：

C23C 16/52 ,  C23C 16/54 ,  G01B 11/06 ,  C08J 7/06

FI (4件)：

C23C 16/52 ,  C23C 16/54 ,  G01B 11/06 Z ,  C08J 7/06 Z

Fターム (41件)：

2F065AA30 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065BB17 ,  2F065CC02 ,  2F065CC31 ,  2F065DD06 ,  2F065FF00 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL02 ,  2F065LL42 ,  2F065LL67 ,  2F065NN20 ,  2F065PP16 ,  2F065QQ01 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  4F006AA35 ,  4F006AB67 ,  4F006AB68 ,  4F006BA09 ,  4F006BA14 ,  4K030AA11 ,  4K030AA16 ,  4K030AA18 ,  4K030BA44 ,  4K030BA46 ,  4K030CA07 ,  4K030CA17 ,  4K030FA03 ,  4K030GA14 ,  4K030KA39 ,  4K030KA41 ,  4K030LA24