特許

J-GLOBAL ID：200903016127441960

静電チャック

発明者： 杉山 成正 ,  野沢 俊久 ,  池田 貢基 ,  久本 淳 ,  大西 隆 ,  金丸 守賀 ,  熊谷 浩洋 ,  新井 泉
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所 ,  神鋼コベルコツール株式会社 ,  アプライドマテリアルズジャパン株式会社
代理人 (1件)： 小谷 悦司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-302184
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144778
出願日： 1996年11月13日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】 誘電板と基板の接合に使用した接着剤が損傷することがなく、且つ安定した吸着力の得られる静電チャックを提供する。【解決手段】 絶縁性セラミックスからなる円盤状の誘電板1と円盤状の基板2とを接合するとともに、両者の間に電極3を形成して静電チャックを構成し、その静電チャック周縁部における誘電板1及び基板2の接合境界、及び誘電板1に貫通して設けられているガス導入用貫通孔7の開口縁部と基板2との接合境界に、少なくとも1以上の屈曲部を設け、且つ接合境界の開放端Sが誘電板吸着面1aから遠ざかる様に構成すれば、接着剤の損傷を解消することができ、且つ半導体ウエハー6に対しては十分な吸着力を得ることができる。

請求項（抜粋）：

絶縁性セラミックスからなる円盤状の誘電板と、該誘電板と接合される円盤状の基板と、前記誘電板と前記基板との間に介装される電極とを有する静電チャックにおいて、該静電チャック周縁部における前記誘電板及び前記基板の接合境界、及び前記誘電板に貫通して設けられているガス導入用貫通孔の開口縁部と前記基板との接合境界が、前記誘電板吸着面から遠ざかる方向に形成した少なくとも1以上の屈曲部にて構成され、前記各接合境界の開放端が、操業時に発生する腐食性ガス成分から保護される様に構成されていることを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D