特許

J-GLOBAL ID：200903016128021891

非球面ミラー

発明者： 村上 勝彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-305668
公開番号（公開出願番号）：特開2002-221596
出願日： 1993年09月13日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：

【要約】【目的】 X線回折法によって測定した周期長に応じて多層膜の膜厚を制御することにより、非球面ミラーを精度よく作製する。【構成】 基板1と、イオン源12およびターゲット13からなるイオンビームスパッタ装置2と、マスク3と、X線回折装置4とを具備する非球面ミラー製造装置を用い、X線回折装置4により基板1上に形成された多層膜の周期長を測定し、その測定結果に応じて設定されたマスク3を用いて多層膜21を形成する。これにより、基板1上では、その中心から周辺にかけての所定箇所における多層膜の周期長が均一となり、非球面ミラーを精度よく作製できる。

請求項（抜粋）：

球面形状に加工された基板上に2種類以上の物質を交互に積層して非球面ミラーを製造する方法において、積層された膜の周期長を、ミラー中心から周辺にわたる所定箇所でX線回折法により測定する工程と、測定された前記周期長に応じて、前記所定箇所での周期長が一定になるように多層膜を形成する工程とを備えたことを特徴とする非球面ミラー製造方法。

IPC (6件)：

G21K 1/06 ,  C23C 14/06 ,  G02B 1/10 ,  G02B 5/10 ,  H01L 21/027 ,  G01N 23/20

FI (8件)：

G21K 1/06 D ,  G21K 1/06 B ,  C23C 14/06 N ,  G02B 5/10 C ,  G01N 23/20 ,  H01L 21/30 531 A ,  G02B 1/10 Z ,  H01L 21/30 517

Fターム (34件)：

2G001AA01 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001GA01 ,  2G001KA10 ,  2G001LA20 ,  2G001MA05 ,  2G001NA30 ,  2G001PA12 ,  2H042DA01 ,  2H042DA12 ,  2H042DB02 ,  2H042DC02 ,  2H042DC09 ,  2H042DC11 ,  2H042DD06 ,  2H042DD07 ,  2H042DD09 ,  2H042DE00 ,  2K009BB02 ,  2K009CC01 ,  2K009CC14 ,  2K009DD07 ,  2K009EE00 ,  4K029AA08 ,  4K029AA22 ,  4K029BA11 ,  4K029BA35 ,  4K029BB02 ,  4K029BD09 ,  4K029CA05 ,  4K029DC16 ,  4K029DC37 ,  5F046GB01

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-072298