特許
J-GLOBAL ID：200903016135532036
メタルマスクの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
折寄 武士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-070143
公開番号（公開出願番号）：特開平7-251493
出願日： 1994年03月14日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：
【要約】【構成】 所望パターンの透孔10を有する電着層5を電鋳する。電鋳後、電着層5を母型1から剥離する。印刷厚の変化を持たせるためにその電着層5の母型面側をハーフエッチングして凹み面9を形成する。エッチング後、電解研磨する。エッチングにより発生した電着層5の透孔10の縁のばり状突起11は電解研磨により除去できる。【効果】 従って、このメタルマスクのエッチング面をスキージかけ面として印刷する場合も、はんだペーストの透孔10からの抜け性が良くなり、スキージを傷めることもない。更に、不安定なばり状突起11を除去することにより板厚精度の向上を図ることもできる。
請求項（抜粋）：
母型1の表面に、所望のパターンをもつレジスト膜4を形成する工程と、母型1のレジスト膜4で覆われていない表面に電着層5を電着形成する工程と、電鋳後、母型1から電着層5を剥離する工程と、電着層5の母型面側からハーフエッチングする工程と、電着層5のエッチング面側を電解研磨する工程とからなるメタルマスクの製造方法。
IPC (2件)：
B41C 1/14 101
, C23F 1/14
