特許
J-GLOBAL ID:200903016136009248
石英ガラスの製造方法及びその装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
上島 淳一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-058152
公開番号(公開出願番号):特開平7-126034
出願日: 1993年10月28日
公開日(公表日): 1995年05月16日
要約:
【要約】【目的】石英ガラスの溶融時に石英ガラス中に水酸基を取り込まず、経済的に溶融することができる石英ガラスの製造方法及びその装置を提供する。【構成】炉体20内に回転および昇降自在に設置された溶融容器18と、溶融容器18のプラズマアーク・カップリング帯域に対称的に配置されたプラズマアノードトーチ24とプラズマカソードトーチ26とからなるツインプラズマトーチとを有し、溶融容器18に石英ガラス原材料を所定の厚さに敷き詰めた後、対称的に配置されたプラズマアノードトーチ24とプラズマカソードトーチ26とから生成されるプラズマアークによりカップリングされる近傍を溶融部の頂点として、石英ガラス原材料の溶融を行う。
請求項(抜粋):
炉体内に回転および昇降自在に設置された溶融容器と、前記溶融容器のプラズマアーク・カップリング帯域に対称的に配置されたプラズマアノードトーチとプラズマカソードトーチとからなるツインプラズマトーチとを有し、前記溶融容器に石英ガラス原材料を所定の厚さに敷き詰めた後、対称的に配置された前記ツインプラズマトーチの前記プラズマアノードトーチと前記プラズマカソードトーチとから生成されるプラズマアークによりカップリングされる近傍を溶融部の頂点として、前記石英ガラス原材料の溶融を行うことを特徴とする石英ガラスの製造方法。
IPC (2件):
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開平4-325425
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石英ガラスの製造方法及びその装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-292771
出願人:日本石英硝子株式会社, テトロニクスリサーチアンドデベロップメントカンパニーリミテッド
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