特許

J-GLOBAL ID：200903016147418646

光偏向器、それを用いた画像表示装置及び画像形成装置、並びに光偏向器の作製方法

発明者： 廣瀬 太 ,  島田 康弘 ,  手島 隆行
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-211035
公開番号（公開出願番号）：特開2003-029190
出願日： 2001年07月11日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：

【要約】【課題】 大きな変位が可能で高速動作が可能であり、エネルギー効率が高く、安価な光偏向器を提供する。【解決手段】 ミラー111を有する可動板109と、それを回転中心の周りで揺動可能に支持するねじりばね部107と、それを支持する支持基板101と、可動板109から離間して位置し支持基板101に固定された固定コア104及びそれに周回されたコイル105を含み可動板109を揺動させる揺動手段とを備える。この揺動手段は可動板109に付設された可動コア106を含む。可動コア106は、可動板109の回転中心から隔てられた側面上に設置され、固定コア104と直列磁気回路を形成している。可動板109とねじりばね部107と支持基板101とが単結晶シリコンから形成されている。可動コア106の二等分面136と固定コア104の二等分面134とが異なる高さにある。

請求項（抜粋）：

入射光を偏向させる偏向部を有する可動板と、該可動板を回転中心の周りでの揺動が可能なように支持する弾性支持部と、該弾性支持部を支持する支持基板と、前記可動板から離間して位置する部分を有し前記可動板を揺動させる揺動手段とを備えた光偏向器において、前記揺動手段は前記可動板に付設された可動コアを有しており、該可動コアは前記可動板の側面側に設置されていることを特徴とする光偏向器。

IPC (4件)：

G02B 26/10 104 ,  B41J 2/44 ,  G02B 5/08 ,  G02B 5/18

FI (4件)：

G02B 26/10 104 Z ,  G02B 5/08 C ,  G02B 5/18 ,  B41J 3/00 D

Fターム (23件)：

2C362BA17 ,  2C362BA18 ,  2C362BA83 ,  2C362BA84 ,  2H042DA05 ,  2H042DA07 ,  2H042DA12 ,  2H042DA18 ,  2H042DB08 ,  2H042DC02 ,  2H042DC08 ,  2H042DE07 ,  2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB13 ,  2H045AB16 ,  2H045AB22 ,  2H045AB73 ,  2H049AA07 ,  2H049AA13 ,  2H049AA44 ,  2H049AA60 ,  2H049AA69