特許
J-GLOBAL ID：200903016152444159

酸化亜鉛焼結体およびその製造方法、スパッタリングターゲット、電極

発明者：
福島 英子

福島 英子 について

, 
栗田 ふみ

栗田 ふみ について


出願人/特許権者：
日立金属株式会社

日立金属株式会社 について


代理人 (2件)： 堀 城之 ,  塩田 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-094569
公開番号（公開出願番号）：特開2009-249187
出願日： 2008年04月01日
公開日（公表日）： 2009年10月29日
要約：
【課題】この酸化亜鉛焼結体をスパッタリングターゲットに用いて抵抗率が低く、かつ耐候性の高い電極を得る。【解決手段】この電極の耐候性として、60°Cで90%RHの湿度下に晒した場合の、抵抗率の変化を測定した。前記と同様のスパッタリングターゲットを用いた場合の(a)膜厚が200nmの場合、(b)膜厚が100nmの場合と、(c)CeO2添加が無い場合で膜厚が100nmの場合、の3種類についての測定結果を図6に示す。初期値は6〜7×10-4Ω・cm程度であり、充分に小さいが、CeO2が無添加の場合(c)には、徐々に抵抗率が上昇し、200時間経過後には20Ω・cm以上にまで上昇する。これに対して、CeO2が添加された(a)(b)の場合にはその上昇は大きく抑制され、特に膜厚が200nmの場合には1000時間経過後にも10-3Ω・cm以下の小さな抵抗率が維持されている。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
ZnOにAlを含有する酸化亜鉛焼結体であって、 Mg、Ca、Sr、Ba、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Er、Tm、Ybのうちから1種以上が添加物元素として添加され、前記Al添加量が酸化物換算で0.1〜10wt%、前記添加物元素の添加量が酸化物換算で0.01〜2wt%の範囲であることを特徴とする酸化亜鉛焼結体。
IPC (3件)：
C04B 35/453 ,  C23C 14/34 ,  H01B 1/08
FI (3件)：
C04B35/00 P ,  C23C14/34 A ,  H01B1/08
Fターム (36件)：
4G030AA07 ,  4G030AA08 ,  4G030AA09 ,  4G030AA10 ,  4G030AA11 ,  4G030AA13 ,  4G030AA14 ,  4G030AA32 ,  4G030AA34 ,  4G030AA35 ,  4G030AA36 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4G030CA01 ,  4G030CA08 ,  4G030GA08 ,  4G030GA09 ,  4G030GA11 ,  4G030GA27 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC34 ,  4K029DC39 ,  5G301CA02 ,  5G301CA12 ,  5G301CA27 ,  5G301CD03 ,  5G301CE02 ,  5G323BA02 ,  5G323BB05 ,  5G323BC01
引用特許：
出願人引用 (2件)

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