特許
J-GLOBAL ID:200903016155552637

外観検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-219505
公開番号(公開出願番号):特開平8-062148
出願日: 1994年08月22日
公開日(公表日): 1996年03月08日
要約:
【要約】【目的】 簡単な構成で検査対象物平面の斜め上方より外観検査が実現できるテレビカメラによる外観検査装置を提供すること。【構成】 従来の外観検査装置の光学糸は図の(a)に示すようにレンズ2の光軸上に検査対象物12を見ようとするため、結像13はその光軸A上にある。しかし本発明の考え方の要点を模式図に示した図の(b)に示すようにレンズ2の光軸Aを検査対象物の表面に対して垂直方向に保ったまま、距離aだけ検査対象物5を光軸A上から水平方向に位置をずらすと、結像15はレンズ2の光軸A上から距離bだけずれた位置に見える。このとき、撮像素子の光軸を検査対象物の表面に対して垂直方向に保ったまま、撮像素子を結像15の位置に配置することにより検査対象物5をその表面の垂直方向に対して角度θの方向の斜め上方から観察することが可能となる。
請求項(抜粋):
テレビカメラにより撮影された画像を用いて検査対象物の外観検査を行う外観検査装置において、テレビカメラのレンズの光軸と撮像素子の光軸を検査対象物の表面に対して垂直方向に保ったまま、カメラの光軸と撮像素子の光軸を検査対象物の表面の水平方向にずらして配置したことを特徴とする外観検査装置。
IPC (2件):
G01N 21/88 ,  G01B 11/24

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