特許
J-GLOBAL ID：200903016158472561
容量式力学量センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-041503
公開番号（公開出願番号）：特開2003-240798
出願日： 2002年02月19日
公開日（公表日）： 2003年08月27日
要約：
【要約】【課題】 容量式加速度センサにおいて、感度を低下させずに加工ばらつきのセンサ特性への影響を低減できるようにする。【解決手段】 加速度の印加に応じてY方向に変位するバネ機能を有する梁部22と、この梁部22に一体に形成されて梁部22の変位方向Yと直交する方向に延びる梁形状を有し梁部22とともに梁部の変位方向に変位可能な可動電極24と、可動電極24に対向して配置された固定電極32、42とを備え、加速度の印加に伴う可動電極24と固定電極32、42との間の容量変化に基づいて加速度を検出するようにした容量式加速度センサS1において、梁部22の変位方向Yにおける可動電極24と固定電極32、42との間隔である電極間隔dと、梁部22におけるその変位方向Yと直交する方向に延びる部分の幅である梁幅bとが略同一である。
請求項（抜粋）：
梁形状をなすとともに力学量の印加に応じて所定方向に変位するバネ機能を有する梁部(22)と、この梁部に一体に形成されて前記梁部の変位方向(Y)と直交する方向に延びる梁形状を有し、前記梁部とともに前記梁部の変位方向に変位可能な可動電極(24)と、前記可動電極に対向して配置された固定電極(32、42)とを備え、前記力学量の印加に伴う前記可動電極と前記固定電極との間の容量変化に基づいて前記力学量を検出するようにした容量式力学量センサにおいて、前記梁部の変位方向における前記可動電極と前記固定電極との間隔である電極間隔(d)と、前記梁部におけるその変位方向と直交する方向に延びる部分の幅である梁幅(b)とが略同一であることを特徴とする容量式力学量センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/125 Z
, H01L 29/84 Z
4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA22
, 4M112CA24
, 4M112DA03
, 4M112DA04
, 4M112DA18
, 4M112EA02
, 4M112EA06
, 4M112EA11
, 4M112FA01
